光氧等离子一体机分为等离子分解和紫外线光解两个区，恶臭气体先经等离子分解区，再经过UV紫外线光解区，两级净化后达标排出。
光氧等离子一体机是等离子分解废气净化器+UV光解除臭废气净化器两种设备的 结合，综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术相结合，对废气和臭气进行 协同净化处理！它具有 率、运行成本低、设备占地面积小，自重轻、无任何机械动作，无噪音等特点，光氧等离子一体机净化设备净化效率在以上。
光氧等离子一体机工作原理：
当废气进入光氧等离子一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子 先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。(在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子 物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。)
然后部分废气再通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无味气体。采用C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可 地杀灭，将物质破坏且改变成为低分子物质。在C波段激光刺激催化剂涂层产生活性，催化氧化作用。在分解过程中产生高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对物具有的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有的 效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中的分子键，破坏的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应， 达到脱臭及杀的目的。
